法國Alcatel阿爾卡特真空泵,是一個國際性的真空泵品牌,為客戶提供真空泵、檢漏儀、真空計以及微加工系統等。阿爾卡特的機械泵(油潤旋片泵、干式真空泵)廣為人知,抽速從0.5L/S到30L/S,廣泛應用于撿漏、冷凍干燥、化工分餾、微電子工業、分析儀器、冰箱空調生產線等各種行業。
(阿爾卡特2005真空泵)
阿爾卡特Alcatel的干式真空泵,在半導體工業中的應用是深入人心的。其分為三個級別,H型針對非常苛刻的工藝;P型針對中等工藝;LM型,針對干凈的工藝。具有體積小,占地面積小,使用成本低,高抽速以及高極限壓力,在苛刻的環境下,具有出色的運行效果。
這幾年,隨著國產真空技術和結構升級,作為國產真空泵的代表之一,好凱德干式真空泵在半導體行業中的應用廣度和深度有很大提升。
(好凱德干式真空泵)
好凱德干式真空泵應用于半導體行業的關鍵優勢在于:
1.消除了工藝過程污染油或油搭載進入尾氣處理系統的風險
2.不會產生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產品或環境
3.它是完全干燥的,對上下游工藝沒有任何污染
4.干式真空泵中不會發生任何腐蝕
5.效率更高,耗電更少
6.吸入的溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收
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